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直流加熱蒸發(fā)源（Direct Current Heating Cell）

● 用給材料直接通電流的方式蒸發(fā)

● 主要用于硅等半導(dǎo)體材料的蒸發(fā)

● 簡單易用，受熱面積小


直流加熱蒸發(fā)源（Direct Current Heating Cell）